Разработка и создание наноматериалов и сплавов на основе плазменной и ионно-лучевой технологий для базовых отраслей экономики
Full Name of the work head: Бейсембетов И.К.
Исполнители проекта: Нусупов К.Х.*
: Казахстанско-Британский технический университет
Inventory number: 0213РК01069
Registration number: 0112РК02688
Keywords: алмазоподобные полупроводниковые пленки*многофункциональная напылительная установка*наноматериалы*сплавы*твердые покрытия*методы осаждения*
Осуществлена разработка, расчет, проектирование, изготовление, сборка и наладка напылительной установки для получения различных видов пленок и покрытий, характеризующихся общим конструктивным решением и максимальной унификацией узлов и деталей. Модифицированная для нанесения чередующихся пленок за один цикл вакуумная установка содержит вакуумный пост и стойку управления. Получен высокий вакуум. Показана принципиальная возможность использования метода фотоактивации атомов углерода для получения алмазоподобных полупроводниковых пленок. Создана многофункциональная установка с уникальными техническими возможностями, способной синтезировать различные нанокристаллические структуры с заданными размерами. *
