National resources of STI / Research Report

Разработка систем управления и контроля для перспективных вакуумных технологических установок

Full Name of the work head: Лаврищев О.А.
Исполнители проекта: Габдуллина А.Т.*
: Научно-исследовательский институт экспериментальной и теоретической физики при КазНУ им. аль-Фараби
Inventory number: 0212РК01423
Registration number: 0112РК02733
Keywords: Плазменная металлообработка*вакуумные установки*