Разработка фундаментальных физических подходов для получения наноразмерных ячеек памяти с новыми свойствами для записи информации на основе модифицированных халькогенидных стеклообразных полупроводников
Full Name of the work head: Приходько О.Ю.
Исполнители проекта: Алмасов Н.Ж.
: Научно-исследовательский институт экспериментальной и теоретической физики при КазНУ им. аль-Фараби
Inventory number: 0212РК02229
Registration number: 0112РК02877
Keywords: Халькогенидные стеклообразные полупроводники, Модифицированные наноразмерные пленки,
Установлено, что элементный состав модифицированных наноразмерных пленок ХСП, полученных ТИ-методом, соответствует составу химического соединения с точностью до 10 %. Для ВЧ-пленок точность составляет 15 %, что может быть обусловлено отклонением состава изготовленной мишени, особенностями самого метода. Разработана технология получения модифицированных примесью сплавов ХСП и наноразмерных пленок. Изучены их состав и структура.
