Установлено, что элементный состав модифицированных наноразмерных пленок ХСП, полученных ТИ-методом, соответствует составу химического соединения с точностью до 10 %. Для ВЧ-пленок точность составляет 15 %, что может быть обусловлено отклонением состава изготовленной мишени, особенностями самого метода. Разработана технология получения модифицированных примесью сплавов ХСП и наноразмерных пленок. Изучены их состав и структура.