Исследована установка ионно-плазменного напыления, предназначенная для синтеза наноразмерных материалов. Представлена модифицированная схема управления высоковакуумного универсального поста ВУП-5М. Изготовлены комплектующие детали. Проведена полная сборка и проверка вакуумной системы на герметичность. Предельный вакуум в рабочей камере (10{-6} мм.рт.ст.), полученный с применением силиконовой жидкости Dow Corning R 702, обеспечил высокую чистоту проведения экспериментальных работ. Комплексные испытания установки показали ее полную работоспособность.