Разработка покрытий и структур на фоне аморфного углерода для структур электроники и фотовольтаики
Руководитель проекта: Чокин К.Ш.
Исполнители проекта: Клименов В.В.
Организация: Физико-технический институт
Инвентарный номер: 0212РК02089
Регистрационный номер: 0112РК00939
Ключевые слова: Аморфный углерод, Полупроводники, Проводящие покрытия,
Разработаны методики осаждения DLS на различные подложки методами PECVD и реактивного магнетронного осаждения. Проведен синтез углеродных структур различными методами. Выполнены исследования физических характеристик полученных образцов аморфного углерода.