Разработка покрытий и структур на фоне аморфного углерода для структур электроники и фотовольтаики
Full Name of the work head: Чокин К.Ш.
Исполнители проекта: Клименов В.В.
: Физико-технический институт
Inventory number: 0212РК02089
Registration number: 0112РК00939
Keywords: Аморфный углерод, Полупроводники, Проводящие покрытия,
Разработаны методики осаждения DLS на различные подложки методами PECVD и реактивного магнетронного осаждения. Проведен синтез углеродных структур различными методами. Выполнены исследования физических характеристик полученных образцов аморфного углерода.
