Исследованы тонкие пленки оксида олова: без добавок и легированные фтором. Синтезированы 5 групп образцов: 1) из безводного раствора тетрахлорида олова в 96 % этаноле; 2)из раствора тетрахлорида олова в этаноле с добавлением фторида аммония; 3)из раствора тетрахлорида олова в этаноле с добавлением гидроксида аммония; 4)из раствора, содержащего оксид олова в виде дисперсной фазы; 5)из раствора, содержащего оксид олова в виде дисперсной фазы с добавлением фторида аммония. Установлено, что важное для технологии газочувствительных сенсоров увеличение в 2,8 раза газочувствительности и уменьшение времени отклика в 2 раза пленок SnO[2] связано с увеличением pH раствора в 10 раз с 0,18 до 1,80. Показано, что изменение водородного показателя пленкообразующего раствора с добавлением NF[4]F и NH[4]OH приводит к формированию дендритной структуры пленок и высокой шероховатости их поверхности, что в результате приводит к уменьшению их прозрачности с 85 до 40-65 % в видимой области длин волн 300-700 нм. Выявлено, что изменение pH пленкообразующего раствора не влияет поверхностное сопротивление синтезированных пленок SnO[2].