Разработка технологии получения нитрида галлия для использования в оптоэлектронных приборах
Full Name of the work head: Тихонов А.В.
Исполнители проекта: Сугурбекова Г.К.
: Nazarbayev University Research and Innovation System
Inventory number: 0212РК02471
Registration number: 0112РК01084
Keywords: Оптоэлектроника, Светодиоды, Нитрид галлия,
Разработана концепция лабораторного технологического комплекса для получения нитрид галлиевых структур. Обоснован регламент инфраструктуры лаборатории. Проведен анализ технологий получения нитрид галлиевых структур химическим осаждением из газовой фазы с использованием металлоорганических соединений. Отработана техническая спецификация установки. Получен нитрид галлия из азида натрия и металлического галлия. Синтезированы прекурсоры-предшественники - металлоорганические комплексы из дифениламина и этилендиамина. Подобраны оптимальные условия и реагенты для облучения галлиевых структур. Выбран магнетронный метод напыления ионами в плазме.
