Разработка и создание наноматериалов и сплавов на основе плазменной и ионно-лучевой технологий для базовых отраслей экономики
Full Name of the work head: Нусупов К.Х.
Исполнители проекта:
: Казахстанско-Британский технический университет
Inventory number: 0212РК02611
Registration number: 0112РК02688
Keywords: Ускоритель тяжелых ионов, монитор пучка, цилиндр Фарадея, вакуумный клапан, экстрактор ионов, катод, ионная оптика, эспандер, фокусировка пучка, дублет электростатических линз, тигель, напылители, покрытия, пленка,
Разработана напылительная установка для получения различных видов пленок и покрытий, характеризующихся общим конструктивным решением и максимальной унификацией узлов и деталей, модифицированная для нанесения чередующихся пленок за один цикл вакуумная установка содержит вакуумный пост и стойку управления. Установлена принципиальная возможность использования метода фотоактивации атомов углерода для получения алмазоподобных полупроводников пленок.
