Разработка процессов формирования излучающих структур в ИК-и видимом диапазоне с квантовыми точками полупроводников А3В5 и 4 группы в Sio[2] и Si
Full Name of the work head: Исмайлова Г.А.
Исполнители проекта: Приходько О.Ю.
: Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа при КазНУ
Inventory number: 0212РК01182
Registration number: 0112РК02474
Keywords: Ионная имплантация, Светодиодные структуры,
Осуществлено комплексное исследование структурных и оптических свойств систем нанокристаллов в кристаллическом кремнии и в слоях диоксида кремния, на кремнии, полученных методом ионной имплантации и последующей термообработки. Изготовлено 9 партий экспериментальных образцов, содержащих кластерообразующие примеси.
