Исследование основных закономерностей порообразования и роста нанокристаллов пористого кремния при длительном анодном травлении, обусловленных квантово-размерными эффектами на локальных микроскопических участках атомно-шероховатой поверхности реального мо
Руководитель проекта: Рябикин Ю.А.
Исполнители проекта: Тыныштыкбаев К.Б.
Организация: Физико-технический институт
Инвентарный номер: 0212РК02128
Регистрационный номер: 0112РК00940
Ключевые слова: Кремний, Осаждение металлов, Нанокристаллиты, Атомно-шероховатая поверхность, Мозаичная структура,
Установлена зависимость образования вторичного пористого слоя из осажденных атомов Si из раствора электролита на поверхности первичного пористого кремния на образцах Si от кристаллографической ориентации кремния. Показано, что образование 3D островков НК МС ПК происходит за счет минимизации их поверхностной и объемной энергии и меньшей атомарной гладкости поверхности Si (100) по сравнению с Si (111). Определено влияние капиллярных сил поверхностного натяжения на образование наноструктур. Выявлена роль капиллярных сил при образования островков определенных размеров и расстояние между ними.