Исследование основных закономерностей порообразования и роста нанокристаллов пористого кремния при длительном анодном травлении, обусловленных квантово-размерными эффектами на локальных микроскопических участках атомно-шероховатой поверхности реального мо
Full Name of the work head: Рябикин Ю.А.
Исполнители проекта: Тыныштыкбаев К.Б.
: Физико-технический институт
Inventory number: 0212РК02128
Registration number: 0112РК00940
Keywords: Кремний, Осаждение металлов, Нанокристаллиты, Атомно-шероховатая поверхность, Мозаичная структура,
Установлена зависимость образования вторичного пористого слоя из осажденных атомов Si из раствора электролита на поверхности первичного пористого кремния на образцах Si от кристаллографической ориентации кремния. Показано, что образование 3D островков НК МС ПК происходит за счет минимизации их поверхностной и объемной энергии и меньшей атомарной гладкости поверхности Si (100) по сравнению с Si (111). Определено влияние капиллярных сил поверхностного натяжения на образование наноструктур. Выявлена роль капиллярных сил при образования островков определенных размеров и расстояние между ними.
