Разработка технологии получения нанопористых пленок GaP, GaAs путем электрохимического травления и исследование их люминесцентных и структурных свойств
Full Name of the work head: Диханбаев К.К.
Исполнители проекта: Диханбаев К.К.
: Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа при КазНУ
Inventory number: 0212РК01395
Registration number: 0112РК02065
Keywords: Нанопористый арсенид галлия, Нанопористый фосфид галлия, Фотолюминесценция, Электрохимическое анодирование,
Проведены технологические и измерительные работы, в частности, подготовка монокристаллических подложек GaP и GaAs: обезжиривание, травление, нанесение тыльного контакта и электрохимическое анодирование в электролитах. Измерены фотолюминесценции и рамановские спектры нанопористых структур GaP, GaAs. Определены морфология и элементный состав.