Разработка инновационной ионно-плазменной технологии производства тонкопленочных фотоэлементов на основе аморфного кремния, легированного нанокаплями серебра
Руководитель проекта: Тулеушев Ю.Ж.
Исполнители проекта:
Организация: Институт ядерной физики
Инвентарный номер: 0212РК00928
Регистрационный номер: 0112РК02485
Ключевые слова: Тонкопленочные фотоэлементы, Аморфный кремний, Микроморфный кремний,
Разработана технология получения покрытий из аморфного кремния и изучено влияние состава плазмообразующего газа на возможность получения микроморфного кремния с регулируемым соотношением аморфной и микрокристалической фаз.