Разработка инновационной ионно-плазменной технологии производства тонкопленочных фотоэлементов на основе аморфного кремния, легированного нанокаплями серебра
Full Name of the work head: Тулеушев Ю.Ж.
Исполнители проекта:
: Институт ядерной физики
Inventory number: 0212РК00928
Registration number: 0112РК02485
Keywords: Тонкопленочные фотоэлементы, Аморфный кремний, Микроморфный кремний,
Разработана технология получения покрытий из аморфного кремния и изучено влияние состава плазмообразующего газа на возможность получения микроморфного кремния с регулируемым соотношением аморфной и микрокристалической фаз.
