Создание опытного производства получения светодиодных чипов
Full Name of the work head: С.Ж. Токмолдин
Исполнители проекта: Клименов В.В.
: Физико-технический институт
Inventory number: 0211РК01700
Registration number: 0111РК00549
Keywords: Поликристаллические пленки, Светодиодные чипы,
Разработаны новые методики синтеза подложечного материала и создано опытное производство светодиодных чипов. В результате методом лазерной абляции были синтезированы пленки поликристаллического SiC, магнетронного напыления, получены образцы, содержащие нитриды алюминия. Изучена морфология поверхности пленок 3C-SiC на кремнии.
