Развитие методов ионной имплантации и ионного синтеза с целью направленной модификации поверхности материалов и осаждения пленочных покрытий с заданным стехиометрическим составом
Full Name of the work head: К.Ш. Чокин
Исполнители проекта: Ахметов К.М.
: Физико-технический институт
Inventory number: 0211РК00752
Registration number: 0109РК00888
Keywords: наноструктуры, ионно-плазменный источник, имплантация ионов,
Разработаны основы комплексного подхода к решению проблемы оптимизации молекулярно-лучевого легирования. Созданы 2 варианта макета ионно-плазменного источника, стенд для исследования характеристик ионных источников. Изучены рабочие параметры макета ионно-плазменного источника. Представлено программное обеспечение для расчета электромагнитных полей и траекторий движения заряженных частиц.
