Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Развитие методов ионной имплантации и ионного синтеза с целью направленной модификации поверхности материалов и осаждения пленочных покрытий с заданным стехиометрическим составом

Руководитель проекта: К.Ш. Чокин
Исполнители проекта: Ахметов К.М.
Организация: Физико-технический институт
Инвентарный номер: 0211РК00752
Регистрационный номер: 0109РК00888
Ключевые слова: наноструктуры, ионно-плазменный источник, имплантация ионов,