Изучение процессов вакуумной термической декомпозиции полупроводниковых соединений AB и разработка установки и технологии синтеза металлических нанокластеров элементов III группы
Full Name of the work head: В.С.Антощенко
Исполнители проекта: В.С.Антощенко
: Нац. нанотехнол. лаб. откр. типа при КазНУ
Inventory number: 0211РК00028
Registration number: 0111РК00009
Keywords: Полупроводники, Вакуумные технологии,
Разработан метод формирования металлических кластеров на подложках полупроводниковых соединений AB. Создана технологическая установка импульсного вакуумного отжига образцов. Кластеры элементов III группы с высокой поверхностной плотностью и размером 20-200 нм могут быть получены при температуре отжига выше конгруэнтной. Определены оптимальные режимы получения кластеров In на подложке InAs и кластеров Ga на подложке GaAs.
