Разработка методов, научных основ и аппаратных средств для синтеза наноматериалов и наноструктур на основе комбинированных плазменных технологий
Руководитель проекта: Т.Т.Данияров
Исполнители проекта: М.К.Досболаев
Организация: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Инвентарный номер: 0210РК01407
Регистрационный номер: 0110РК00399
Ключевые слова: Плазменные технологии, Наноструктурные материалы, Пылевая плазма,
Разработан аппарат для синтеза наноматериалов и наноструктур на основе магнетронного напыления плазменно-пылевых формирований в тлеющем разряде переменного тока. Проведена оптимизация режимов работы аппарата. Проанализированы свойства полученных наноструктурных материалов и покрытий.