Разработка методов, научных основ и аппаратных средств для синтеза наноматериалов и наноструктур на основе комбинированных плазменных технологий
Full Name of the work head: Т.Т.Данияров
Исполнители проекта: М.К.Досболаев
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Inventory number: 0210РК01407
Registration number: 0110РК00399
Keywords: Плазменные технологии, Наноструктурные материалы, Пылевая плазма,
Разработан аппарат для синтеза наноматериалов и наноструктур на основе магнетронного напыления плазменно-пылевых формирований в тлеющем разряде переменного тока. Проведена оптимизация режимов работы аппарата. Проанализированы свойства полученных наноструктурных материалов и покрытий.
