Определена зависимость поверхностного натяжения от температуры. Уменьшение коэффициента сухого трения возможно за счет уменьшения поверхностной энергии при использовании пар трения. Измельчение материала покрытия с повышением температуры подложки сопровождается ростом твердости до критического среднего размера нанозерна. Снижение твердости при дальнейшем уменьшении среднего размера зерна в покрытии происходит из-за проскальзывания по межзеренным границам (ротационный эффект). Для дальнейшего повышения твердости требуется затормозить процесс скольжения по межзеренным границам. Торможение может быть достигнуто за счет формирования наноструктуры с упрочнением межзеренных границ. С увеличением тока дуги испарителя микротвердость уменьшается. Образцы, полученные при давлении азота 0,081-0,81 Па, имеют равномерно распределенную мелкую плотную структуру, минимальное содержание капельной фазы, пор, наплывов, отслоений и наибольшую микротвердость.