Разработка и создание аппаратных средств на мировом уровне для технологических процессов синтеза наноматериалов, имеющих назначение для оборонной промышленности и базовых отраслей экономики
Full Name of the work head: И.К.Бейсембетов
Исполнители проекта:
: Каз.-Брит. техн. ун-т
Inventory number: 0210РК00787
Registration number: 0110РК00255
Keywords: Ускорители тяжелых ионов, Наноструктурные материалы, Тонкие пленки, Кремний, Пленочные материалы,
Рассчитаны сильноточный ионный источник с высокой производительностью, сильнофокусирующая линза - дублет электростатической линзы. Сечение полюсного наконечника линзы ограничивается дугой окружности, близкой к гиперболе. Разработана технология синтеза тонких пленок наноразмерного кремния толщиной 2-5 мкм.
