Развитие методов ионной имплантации и ионного синтеза с целью направленной модификации поверхности материалов и осаждения пленочных покрытий с заданным стехиометрическим составом
Руководитель проекта: К.Х.Нусупов
Исполнители проекта: Н.Б.Бейсенханов
Организация: Физ.-техн. ин-т
Инвентарный номер: 0210РК00650
Регистрационный номер: 0109РК00888
Ключевые слова: Электроды, Ионная имплантация,
Разработан высоковольтный электрод на 300-350 кВ для использования в ускорителе тяжелых ионов. Спроектирована технологическая оснастка для изготовления электрода.