Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Развитие методов ионной имплантации и ионного синтеза с целью направленной модификации поверхности материалов и осаждения пленочных покрытий с заданным стехиометрическим составом

Руководитель проекта: К.Х.Нусупов
Исполнители проекта: Н.Б.Бейсенханов
Организация: Физ.-техн. ин-т
Инвентарный номер: 0210РК00650
Регистрационный номер: 0109РК00888
Ключевые слова: Электроды, Ионная имплантация,