Исследование физических процессов формирования нанообъектов и наноструктур на поверхности и границах раздела различных материалов для создания приборных структур широкого диапазона применений
Full Name of the work head: С.Ж.Токмолдин
Исполнители проекта: К.Ш.Чокин
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0210РК00649
Registration number: 0109РК00887
Keywords: Наноструктурные материалы, Полупроводники,
Объект исследования: периодические структуры из тонких чередующихся в одном направлении слоев разнородных полупроводниковых материалов. Разработана установка для роста сверхрешеток системы а:Si/a:C/Si. Определены средний размер кристаллитов и микронапряжения в наноразмерных пленках металлооксидных полупроводников. Освоены методы нанесения контактов на подложки и фоточувствительные слои.
