В результате процесса соосаждения наночастиц тантала, алюминия и вольфрама на перемещающуюся относительно потоков плазмы подложку получены твердые растворы-сплавы. При формировании покрытий нанослоями тантала менее 0,37 нм и вольфрама 0,28 нм происходит взаимное растворение компонентов с образованием твердых растворов. В системе Та-Cu получаются твердые растворы бета-тантала с медью. В системе Та-W установлено образование упорядоченных сверхрешеток нанокластеров одного металла в матрице другого.