Развитие методов ионной имплантации и ионного синтеза с целью направленной модификации поверхности материалов и осаждения пленочных покрытий с заданным стехиометрическим составом
Full Name of the work head: К.Х.Нусупов
Исполнители проекта: Н.Б.Бейсенханов
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0209РК01790
Registration number: 0109РК00888
Keywords: Высоковольтные электроды, Кондукторы,
Создан стабилизированный высоковольтный источник постоянного тока для производства полупроводниковых приборов и синтеза тонких наноструктурных пленок. Предложена структурная схема высоковольтного устройства. Проведены испытания кондуктора (высоковольтный электрод). При напряжении 400 кВ не обнаружен коронный разряд, что позволяет судить о надежной работоспособности кондуктора при 350 кВ. Спроектирована технологическая оснастка для изготовления электрода.
