National resources of STI / Research Report

Исследование физических процессов формирования нанообъектов и наноструктур на поверхности и границах раздела различных материалов для создания приборных структур широкого диапазона применений

Full Name of the work head: С.Ж.Токмолдин
Исполнители проекта: К.Ш.Чокин
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0209РК01789
Registration number: 0109РК00887
Keywords: Наноструктурные материалы, Кремний, Полупроводники,