National resources of STI / Research Report

Разработка научных основ синтеза и анализа наноструктурированных материалов и нанопленочных покрытий различного функционального назначения

Full Name of the work head: Х.А.Абдуллин
Исполнители проекта: Х.А.Абдуллин
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0209РК01748
Registration number: 0109РК00889
Keywords: Полупроводники, Кремний, Наноструктурные материалы,