Разработка технологии нанолитографии металлполиимидных пленок в качестве материала гибких электронных чипов микроконструкций
Руководитель проекта: Р.М.Искаков
Исполнители проекта: В.Д.Кравцова
Организация: Ин-т хим. наук им. А.Б. Бектурова
Инвентарный номер: 0209РК01518
Регистрационный номер: 0107РК00549
Ключевые слова: Нанолитография, Пленочные материалы, Металлизация полимеров,
Исследованы полиимидные пленки с импрегнированным металлическим слоем. Определены пути модификации алициклических полиимидов солями металлов с их последующим восстановлением в виде рисунка (микросхемы).