Разработка технологии нанолитографии металлполиимидных пленок в качестве материала гибких электронных чипов микроконструкций
Full Name of the work head: Р.М.Искаков
Исполнители проекта: В.Д.Кравцова
: Ин-т хим. наук им. А.Б. Бектурова
Inventory number: 0209РК01518
Registration number: 0107РК00549
Keywords: Нанолитография, Пленочные материалы, Металлизация полимеров,
Исследованы полиимидные пленки с импрегнированным металлическим слоем. Определены пути модификации алициклических полиимидов солями металлов с их последующим восстановлением в виде рисунка (микросхемы).
