Разработка технологии низкотемпературного синтеза пленок кремния для тонкопленочных солнечных элементов
Руководитель проекта: Е.А.Сванбаев
Исполнители проекта: Е.А.Сванбаев
Организация: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Инвентарный номер: 0209РК01486
Регистрационный номер: 0109РК01301
Ключевые слова: Наноструктурные материалы, Кремний, Солнечные элементы, Тонкие пленки,
Методами магнетронного распыления изготовлены пленки аморфного кремния, проведен их отжиг в присутствии алюминиевого катализатора, исследованы оптические и структурные свойства. Применение катализатора позволяет снизить температуру формирования кремниевых нанокристаллов до 300 {o}C.