Разработка технологии низкотемпературного синтеза пленок кремния для тонкопленочных солнечных элементов
Full Name of the work head: Е.А.Сванбаев
Исполнители проекта: Е.А.Сванбаев
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Inventory number: 0209РК01486
Registration number: 0109РК01301
Keywords: Наноструктурные материалы, Кремний, Солнечные элементы, Тонкие пленки,
Методами магнетронного распыления изготовлены пленки аморфного кремния, проведен их отжиг в присутствии алюминиевого катализатора, исследованы оптические и структурные свойства. Применение катализатора позволяет снизить температуру формирования кремниевых нанокристаллов до 300 {o}C.
