Математический и компьютерный анализ структурных характеристик тонких пленок
Руководитель проекта: А.А.Локтионов
Исполнители проекта: А.Х.Аргынова
Организация: Физ.-техн. ин-т
Инвентарный номер: 0209РК01373
Регистрационный номер: 0107РК00571
Ключевые слова: Тонкие пленки,
Проведен структурный анализ тонких золь-гель-пленок оксида цинка при облучении водородной плазмой. Выявлена связь морфологических и структурных характеристик тонких пленок.