Математический и компьютерный анализ структурных характеристик тонких пленок
Full Name of the work head: А.А.Локтионов
Исполнители проекта: А.Х.Аргынова
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0209РК01373
Registration number: 0107РК00571
Keywords: Тонкие пленки,
Проведен структурный анализ тонких золь-гель-пленок оксида цинка при облучении водородной плазмой. Выявлена связь морфологических и структурных характеристик тонких пленок.