Разработка информационной системы напыления наноструктур паров металла на керамическую подложку из оксида бериллия
Full Name of the work head: У.К.Жапбасбаев
Исполнители проекта: Г.И.Рамазанова
: НИИ мех. и мат. при КазНУ
Inventory number: 0209РК01364
Registration number: 0107РК00613
Keywords: Напыление, Покрытия, Металлические покрытия,
Создана физическая модель напыления на керамику из оксида бериллия. Разработана технология вакуумного напыления и фотолитографического проявления топологии рисунка на металлизированных изделиях из оксида бериллия.
