Разработка методов формирования кремний-углеродных пленок и нанокомпозитов на установке плазмохимического осаждения АХ5200-ECR и исследование их свойств
Full Name of the work head: Х.А.Абдуллин
Исполнители проекта: Х.А.Абдуллин
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0209РК01183
Registration number: 0107РК00569
Keywords: Наноструктурные материалы, Углеродные нанотрубки, Тонкие пленки, Пленочные материалы,
Отработаны режимы осаждения углеродных алмазоподобных пленок на различные подложки. Получены пленки поликристаллического алмаза, алмазоподобного углерода и слои, содержащие углеродные нанотрубки. Оптические спектры рамановского отражения свидетельствуют о наличии нанотрубок. Показано, что форму наночастиц катализатора при синтезе углеродных нанотрубок можно контролировать технологическими условиями.
