Национальные ресурсы / Отчеты о НИР

Разработка методов формирования кремний-углеродных пленок и нанокомпозитов на установке плазмохимического осаждения АХ5200-ECR и исследование их свойств

Руководитель проекта: Х.А.Абдуллин
Исполнители проекта: Х.А.Абдуллин
Организация: Физ.-техн. ин-т
Инвентарный номер: 0209РК01183
Регистрационный номер: 0107РК00569
Ключевые слова: Наноструктурные материалы, Углеродные нанотрубки, Тонкие пленки, Пленочные материалы,