Исследование свойств нанокластеров дефектов и примесей в кремнии и использование нанокластеров в качестве гетерирующих центров
Руководитель проекта: Б.Н.Мукашев
Исполнители проекта: Б.Н.Мукашев
Организация: Физ.-техн. ин-т
Инвентарный номер: 0209РК01182
Регистрационный номер: 0107РК00572
Ключевые слова: Кремний, Дефекты кристаллических структур,
Исследован профиль распределения кислородных термодоноров в кремнии. При создании методом быстрой термодиффузии тонких слоев, легированных бором либо алюминием, профиль распределения кислородных термодоноров неоднороден. Неоднородность отмечена на глубине 5-15 мкр. Обнаружен эффект уменьшения равновесной концентрации собственных дефектов некоторыми примесями.