Исследование свойств нанокластеров дефектов и примесей в кремнии и использование нанокластеров в качестве гетерирующих центров
Full Name of the work head: Б.Н.Мукашев
Исполнители проекта: Б.Н.Мукашев
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0209РК01182
Registration number: 0107РК00572
Keywords: Кремний, Дефекты кристаллических структур,
Исследован профиль распределения кислородных термодоноров в кремнии. При создании методом быстрой термодиффузии тонких слоев, легированных бором либо алюминием, профиль распределения кислородных термодоноров неоднороден. Неоднородность отмечена на глубине 5-15 мкр. Обнаружен эффект уменьшения равновесной концентрации собственных дефектов некоторыми примесями.
