Исследование процессов структурообразования в простых и композиционных пленках специального назначения
Full Name of the work head: Н.Е.Коробова
Исполнители проекта: А.М.Ильин
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Inventory number: 0209РК01177
Registration number: 0109РК00849
Keywords: Тонкие пленки, Пленочные материалы,
Выявлены корреляционные зависимости структуры исходных материалов и физико-химических характеристик синтезированных тонких оксидных пленок. Установлено влияние условий получения оксидных пленок алюминия на их свойства.
