Исследование образования плазменно-пылевых структур в газовых разрядах в приложении к нано- и микроэлектронике
Full Name of the work head: Т.С.Рамазанов
Исполнители проекта: М.К.Досболаев
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Inventory number: 0209РК01171
Registration number: 0107РК00637
Keywords: Плазменно-пылевые структуры, Пылевая плазма, Газовые разряды,
Вычислены аксиальное и радиальное распределения электрического поля, функция распределения электронов по энергиям и макроскопические параметры пылевой плазмы стратифицированного тлеющего разряда низкой плотности в вертикально расположенной цилиндрической разрядной трубке. Определен заряд пылевых частиц. Построена одномерная солитонная модель переноса заряженных частиц и генерации токов в условиях развитой пыле-акустической неустойчивости. Исследованы спектроэнергетические характеристики пылевой плазмы высокочастотного разряда низкого давления. Создана электроразрядная установка несамостоятельного тлеющего разряда атмосферного давления в трехэлектродной системе. Разработаны принципы получения образцов нано- и микроматериалов в пылевой плазме при атмосферном давлении. Проведена зондовая и оптическая диагностика пылевой плазмы.