National resources of STI / Research Report

Изучение термической стабильности, структуры, физико-механических свойств захороненных барьерных слоев, сформированных низкоэнергетичной имплантацией кислорода на ускорителе DC-60

Full Name of the work head: К.А.Кутербеков
Исполнители проекта: С.А.Нуркенов
: Евраз. нац. ун-т им. Л.Н. Гумилёва
Inventory number: 0209РК00810
Registration number: 0107РК00579
Keywords: Наноструктурные материалы,