Исследование образования плазменно-пылевых структур в газовых разрядах в приложении к нано- и микроэлектронике
Full Name of the work head: Т.С.Рамазанов
Исполнители проекта: К.Н.Джумагулова, М.К.Досболаев
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Inventory number: 0208РК01354
Registration number: 0107РК00637
Keywords: Плазма, Пылевая плазма, Газовые разряды, Тлеющие разряды,
Исследованы объемная неравновесая пылевая плазма тлеющего разряда на постоянном токе, высокочастотный емкостный разряд в присутствии мелкодисперсной сажи. Создана электроразрядная установка несамостоятельного тлеющего разряда атмосферного давления в трехэлектродной системе. Проведена зондовая и оптическая диагностика пылевой плазмы. Вычислены временная зависимость зарядки пылевой частицы, флуктуации заряда.
