Синтез наноразмерных кластеров в аморфных пленках и нестехиометрических оксидах
Full Name of the work head: Е.А.Сванбаев
Исполнители проекта: Е.А.Сванбаев
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Inventory number: 0208РК01275
Registration number: 0106РК01154
Keywords: Кластеры, Кремний, Аморфный кремний, Наноструктурные материалы, Пленочные материалы,
Исследованы оптические свойства аморфного кремния при термическом отжиге. В структуре аморфного кремния выявлены сильно связанная основная подрешетка и слабо связанная подрешетка дефектов. На величину оптической ширины запрещенной зоны оказывают влияние обе подрешетки. Разработана технология получения силана из металлургического ферросилиция. Добавка присадок, подавляющих реакцию гидролиза, позволяет повысить выход силана до 85 %. Изготовлена малотоннажная установка по производству силана.