National resources of STI / Research Report

Синтез наноразмерных кластеров в аморфных пленках и нестехиометрических оксидах

Full Name of the work head: Е.А.Сванбаев
Исполнители проекта: Е.А.Сванбаев
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Inventory number: 0208РК01275
Registration number: 0106РК01154
Keywords: Кластеры, Кремний, Аморфный кремний, Наноструктурные материалы, Пленочные материалы,