Синтез наноразмерных кластеров в аморфных пленках и нестехиометрических оксидах
Full Name of the work head: Е.А.Сванбаев
Исполнители проекта: В.Э.Никулин
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Inventory number: 0208РК01250
Registration number: 0107РК00382
Keywords: Кристаллический кремний, Кремний, Полупроводники, Наноструктурные материалы, Пленочные материалы,
Проведено осаждение пленок нестехиометрического оксида кремния методом термического испарения моноокиси кремния. Исследована структура пленок. Выявлено присутствие нанокристаллического кремния.
