Исследование свойств нанокластеров дефектов и примесей в кремнии и использование нанокластеров в качестве гетерирующих центров
Full Name of the work head: Б.Н.Мукашев
Исполнители проекта: Б.Н.Мукашев
: Физ.-техн. ин-т
Inventory number: 0208РК01196
Registration number: 0107РК00572
Keywords: Кремний, Полупроводники, Радиационные дефекты, Дефекты кристаллических структур, Облучение материалов,
Отработан способ введения атомарного водорода в кремний. Исследованы процессы диффузии водорода в монокристаллическом кремнии через фазовую границу SiO[2]/Si. Показано, что гидротермальная обработка приводит к значительной диффузии водорода. Атомы водорода влияют на процессы радиационного комплексообразования. Проведено разделение точечных дефектов и протяженных кластеров на основе различия в температурных зависимостях спин-решеточной релаксации.
