Разработка технологии наноразмерных подложек и тонкопленочных гетероструктур на основе соединений AB для микро- и оптоэлектроники
Full Name of the work head: В.С.Антощенко
Исполнители проекта: В.С.Антощенко
: НИИ эксперим. и теорет. физ. при КазНУ
Inventory number: 0208РК01169
Registration number: 0107РК00381
Keywords: Тонкопленочные материалы, Наноструктурные материалы, Полупроводники,
Собрана установка вакуумной жидкостной эпитаксии. Проведены эксперименты по гетероэпитаксиальному выращиванию пленочных структур. Изучены условия вакуумной декомпозиции подложек AB. Оценена толщина свободных наноразмерных пленок, полученных методом отделяемого роста из раствора-расплава. Осуществлено моделирование процесса образования свободных монокристаллических пленок соединений AB. Выявлена зависимость толщины наноразмерных подложек от состава жидкой фазы. Уточнены технологические режимы формирования свободно расположенных наноподложек.
